Тиск всередині печі можна витягти в промислову піч нижче атмосферного. У вакуумній печі використовується електричний нагрів, а поверхня нагрітої заготовки не окислюється, не знеуглерожується, менше деформується і має хороші механічні властивості. Плавлення металу у вакуумній печі є корисним для видалення домішок, що призводить до меншої кількості точкових отворів, меншої сегрегації та кращої якості готового продукту. Вакуумна піч підходить для плавлення та нагрівання високоякісних, високочистих і тугоплавких металів, таких як вольфрам, молібден, тантал, ніобій, титан, плавка жароміцної легованої сталі та магнітні матеріали, електротехнічні матеріали, високоміцні сталь, нержавіюча сталь, інструментальна сталь, прес-форма тощо.
Вакуумні печі з'явилися приблизно в 1930-х роках. У 1927 році в США виготовили піч для вакуумного відпалу електротехнічних матеріалів. У 1953 році для плавлення губчастого титану в промисловості була використана вакуумна електродугова піч. Вакуумні індукційні печі широко використовувалися в промисловості приблизно в 1950-х роках. У 1960 році Сполучені Штати розробили вакуумну піч для гасіння масла.
Вакуумна піч зазвичай складається з печі, електричного нагрівального пристрою, герметичної оболонки печі, вакуумної системи, системи живлення та системи контролю температури. Герметична оболонка печі зварена з вуглецевої сталі або нержавіючої сталі, а поверхня з’єднання знімних компонентів ущільнена вакуумним герметизуючим матеріалом. Щоб запобігти деформації корпусу печі та погіршенню ущільнювального матеріалу після нагрівання, корпус печі, як правило, охолоджується водою або повітрям. Топка розташована всередині герметичного кожуха печі. Відповідно до призначення печі всередині печі встановлюються різні типи нагрівальних елементів, наприклад резистори, індукційні котушки, електроди, електронні гармати. Вакуумна піч для плавки металів оснащена тиглями в печі, а деякі також обладнані автоматичними розливними пристроями та механічними стрілками для завантаження та вивантаження матеріалів. Вакуумна система в основному складається з вакуумного насоса, вакуумного клапана та вакуумметра.
За нагрівальними елементами вакуумні печі поділяються на вакуумні печі опору, вакуумні індукційні печі, вакуумні дугові печі, вакуумні електродугові печі, електронно-променеві печі (також відомі як печі електронного бомбардування) і плазмові печі.